走査電子顕微鏡 FE-SEMを筆頭に低価格汎用SEMまで表面観察のスタンダ−ド装置です。
高速EDS分析装置と合わせ、極低加速からの最表面観察がトレンドです。
集束イオンビ−ム 極めて細いイオンビ−ムを試料表面に走査し、特定箇所のエッチングを
行い断面露出させての、観察や加工や微細エッチングが目的の装置です。 
原子間力顕微鏡 通常の高倍率の画像以外、ミクロの領域での磁気力、電流、表面電位
等の測定や、雰囲気制御、ナノインデンテ−ションへの拡張が可能です。
イメ−ジングESCA イメ−ジ分解能3μm以下で15μmΦの微小部測定が可能なXPSです。中和
方法によりダメ−ジが少なく分解能の良い、高速マッピング測定が可能です。
白色光干渉式顕微鏡 垂直分解能1Åを持ち、垂直測定範囲1nm〜15mmで一度に面データを
取り込みカラ−で表示。その面のRA/RMA/PV等を合わせて表示致します。
レーザ-コンフォ-カル顕微鏡 カラーコンフォーカル顕微鏡での表面形状/粗さ測定から5波長コンフォーカル顕微鏡で
多層3Dの内部高精度パタ−ン測定。他の機器との複合機も有ります。
デジタルマイクロスコ−プ ズームレンズから最大7000倍のレンズとロータリ−ヘッドとの組み合わせで
あらゆる方向からのカラ−画像が簡単に取れ、計測機能も充実してます。
イメージングX線光電子分析装置
白色光干渉型顕微鏡
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