真空ポンプ 直結型ロータリ−ポンプを中心に、大形のベルト駆動形やDP/MB
等が有ります。低価格ケミカル対応のダイアフラムポンプも好評です。
タ−ボ分子ポンプ 油を使わずクリ−ンな磁気浮上形、コンパクトなバッテリ−レス、
広域形、全方位形など、排気速度と使用目的に応じて選択頂けます。
ドライポンプ 油回転ポンプによる油蒸気の汚れの心配がなく、逆拡散のような汚れ
を嫌うクリ−ンな目的に使用できるドライタイプがそろっております。
Heリークディテクタ 熱交換器やデバイス品、等の密封ワークの漏れ試験を、全自動で安全
かつ簡単に測定出来ます。微少リークを検出出来る質量分析計です。
真空蒸着装置 一般的な絶縁膜/酸化膜/金属膜などの作成に、抵抗加熱式の
蒸着装置、電子ビーム蒸着、スパッタ蒸着装置などが有ります。
真空装置 ICPエッチング装置、プラズマCVD装置、DLC膜装置・等が有ります。
色々なエッチング機能の充実、目的に合った表面改質が可能です。
真空熱処理炉 真空/加圧、縦型/横型のラインアップが目的に応じて充実して
おり、脱脂/脱ガス/焼入れ/焼結等の目的に使用されます。
バキュームグローブボックス
DLC成膜装置
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